一般的石墨板材在1200度,如下的应用中是没有问题,如:高精密零件加工、电火花线切割、冶金行业锻造等。石墨板不再是我们以前简单的认识--只做电极。如今石墨在工业中占有的重要地位也是有目共睹。石墨板较大的用途就是在半导体领域中,但是在太阳能电池、传感器方面、纳米电子学、纳电子器件、复合材料、场发射材料等领域应用也是非常广泛的。
可以用作生产密封器件的原料:用柔性石墨板生产的石墨垫片,可以用于离心泵、水轮机、汽轮机、化工行业输送腐蚀材料的机器的密封圈等。石墨板不再是我们以前简单的认识--只做电极。如今石墨在工业中占有的重要地位也是有目共睹。石墨板要有良好的工作环境,是延长寿命的关键所在。出产过程中,减少挤碰撞,坚持工作环境的清洁,可以定时检查电路,在较佳温度下组织出产,减少空气对其氧化程度等等。
根据实际情况的需要,热场的大小根据石英坩埚的直径大小来划分的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。
我们在这里所讲的单晶炉的热系统就是所谓的热场,热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
1、加热器
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般情况下,加热器采用的高纯石墨加工。
2、石墨电极
石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重,结实耐用、表面要光滑平稳,保证良好的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。