半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
气
气是激光器中气(Ar)和气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是全球气的主要生产国，CRYOIN ENGINEERING LTD 其前身“RARE GASES”公司是全球稀有气体市场的，他们所生产的气（纯度达99.999%）约占全球供应量的65%。这家公司是在1990年由一批低温技术 领域的科学家发起成立的。
作为中国工业气体行业早在国内举办的一展——中国国际气体技术、设备与应用展览会（英文简称IG China），历经十七载发展，在规模和度上已经成长为全球规模大、买家层次高的工业气体展。为快速提升品牌影响力，获得市场认可，今年各大特种气体生产商竞相报名参展，目前中国的电子光源工业、半导体制造业、特种玻璃行业的产能增长拉动了对特种气体的需求量，海外特种气体的生产商纷纷把市场开发 的重点转移到中国大陆市场。正因如此才吸引了来自乌克兰的CRYOIN ENGINEERING LTD连续五届参展，并大面积展出其新技术和产品，足见其对进军中国市场的决心和规划。
近年来，随着我国集成电路、液晶显示器、太阳能电池、半导体、光纤光缆等行业的高速发展，特种气体作为这些产业重要的原材料之一，我国滞后的国产高纯氙气、高纯气（纯度在99.999%以上）六氟化硫等成为外资挟制中国制造业发展的软肋。
国产高纯氙气广泛用于电子、电光源工业、焊接切割行业、深度剂，X光摄影的造影剂等。用氙气充填的灯泡与相同功率的充灯泡相比,具有发光率高、体积小、寿命长、省电等优点。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，广泛用于机场、车站、码头。氙气灯凹面聚光后可生成2500℃高温可用于焊接或切割难熔金属如钛、钼等。在医学方面，氙气是一种没有副作用的深度剂X光摄影的造影剂。
氦气是惰性气体，无毒，性质也不活泼，对人体无害。但是大量吸入会导致窒息甚至！氦气毕竟不是氧气，过多吸入氦气会导致人体缺氧，轻者会感觉疲惫，重者可能会顿时眼前发黑直接窒息昏迷！更有甚者不是通过气球来吸入氦气，如果是由高压气瓶中直接吸入高纯氦气，那么其高流速就会严重地破坏肺部组织，直接对人体造成伤害！
氦气高浓度时，使氧分降低而发生窒息。氦浓度达到50%以上引起严状；呼吸加速，注意力 不集中，疲倦乏力，恶心、呕吐。75%以上时可在数分钟内。